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手动纳米平台
手动纳米平台

手动纳米平台


产品简介:

       手动纳米平台是西格玛光机全新概念的,全新产品,至今还没有确定上市时间,此款平台在普通的手动微分头和平台台面之间,加装一个压电陶瓷模块,该压电陶瓷模块,有一组手动钮控制,一个钮对应一个轴,实现平台台面位置的纳米分辨率的微调,不仅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),还有小体积(25*25台面可选),实现了手动平台超高分辨率调整的理想手段。


技术指标: 

指标项目

台面尺寸

25mm

40mm

 

60mm

 

行程

粗调(mm

6

13

13

微调(μm)

30~50

30~50

30~50

 

分辨率

粗调(mm

0.01

0.01

0.01

微调(nm

<20

<20

<20

 

承载能力

X/XY 轴(kg

2

3

5

Z轴(kg

1

1

1

 *粗调:普通微分头

    微调:压电陶瓷

    手调控制器类型:1轴用,3轴用


实测数据图:


          


重要信息:

       我司是西格玛光机的中国区域一级代理商,只要有新产品上新,我们都是第一个知道,想了解更多手动纳米平台的资料,可以关注我们,不仅如此,我们还提供各种指标的成像物镜、加工物镜、光刻物镜等的定制,详情请咨询我们。

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