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高耐久型自动转动平台
高耐久型自动转动平台

高耐久型自动转动平台


 

产品简介:

       高耐久型自动转动平台不仅适用于硅片的打标等的微小角度调整用自动平台,还适用于微小角度的自动调整,而且驱动机构为丝杠,磨损和间隙小,耐久性好。


通用指标:

         电机/传感器技术指标

电机 类型

HDS-60YAW5相步进电机 0.75A/(多摩川精机())
HDS-80YAWHDS-120YAW5相步进电机 0.75A/(ORIENTAL MOTOR())

电机 型号

HDS-60YAWTS3664N4E10(□24mm)  
HDS-80YAWHDS-120YAWPK523HPB-C12(□28mm)

电机 步距角

0.72°

传感器 电源电压

DC524V±10%

传感器 消耗电流

60mA以下(单个传感器20mA以下)

传感器 输出端电气特性

NPN集电极开路输出 DC30V以下50mA以下

传感器 信号的含义

遮光时:输出晶体管OFF(截止):极限位置传感器
遮光时:输出晶体管ON(导通):原点传感器

 

      推荐选用的驱动器/控制器型号

驱动器

SG-5MSG-5MAMC-S0514ZUSG-514MSCMC-7514PCL

控制器

GSC-01GIP-101GSC-02SHOT-702SHOT-302GSSHOT-304GSHIT-MHIT-SPGC-04-UHSC-103

 

技术指标比较:

型号

转动范围

台面尺寸

驱动机构

导轨形式

平台台面材料

表面处理

自重

HDS-60YAW

±5°

φ60mm

滚珠丝杠+钢带

滚动轴承

铝合金

黑色氧化

0.5kg

HDS-80YAW

±5°

Φ80mm

滚珠丝杠+钢带

滚动轴承

铝合金

黑色氧化

1.3kg

HDS-120YAW

±6°

Φ120mm

滚珠丝杠+钢带

十字交叉滚柱

铝合金

黑色氧化

2.0kg

 

型号

分辨率(整步)

分辨率(半步)

位移量(参考数据)

速度

定位精度

HDS-60YAW

≒0.0053°/脉冲

≒0.0027°/脉冲

0.5mdeg

60°/sec

0.05°

HDS-80YAW

≒0.0038°/脉冲

≒0.0019°/脉冲

0.5mdeg

60°/sec

0.05°

HDS-120YAW

≒0.0022°/脉冲

≒0.0011°/脉冲

0.5mdeg

60°/sec

0.05°

 


型号

重复定位精度

承载能力

扭矩刚度

空行度

传动副间隙

平行度

同心度

HDS-60YAW

0.003°

29.4N(3.0kgf)

1″/Ncm

0.003°

0.05°

50μm

10μm(±5°の範囲内)

HDS-80YAW

0.003°

58.8N(3.0kgf)

0.2″/Ncm

0.003°

0.05°

50μm

10μm(±5°の範囲内)

HDS-120YAW

0.003°

29.4N(3.0kgf)

0.1″/N・cm

0.003°

0.05°

50μm

10μm(±5°の範囲内)

 

型号

台面跳动量

传感器型号

极限位置传感器

原点传感器

近接原点传感器

HDS-60YAW

0.01μm

微型光电传感器:GP1S097HCZ(夏普())

(常闭)

(常开)

HDS-80YAW

0.01μm

微型光电传感器:GP1S097HCZ(夏普())

(常闭)

(常开)

HDS-120YAW

0.01μm

微型光电传感器:GP1S097HCZ(夏普())

(常闭)

(常开)

 

其他信息:

        丝杠带动钢带,将直线运动转换为转动,即使位置不同,其传动比也不变。

        请水平设置使用HDS系列。上下倒置或侧面安装时,难以保证样本上所示技术指标。如果希望规范使用的话,欢迎来信咨询我们。

        我司的刚性隔振平台、光纤光谱仪、显微物镜、拉曼光谱仪等都是我司的畅销产品,有需要的客户可以联系我们。

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